产品特性：可实现电子级特殊气体的持续不间断安全供应。主要采用PLC控制，触控屏为人机界面或数显按钮式操作界面。
主要特点：自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断。
适用场合：主要适用于IC、TFT、Solar、LED等工厂特气的供气需求。
适用气体：易燃/自燃性、腐蚀性、毒性，如SIH4,NF3,NH3,N2O,HCL等。
气源供应方式：Cylinder
气体输送柜 GC
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气体输送柜 GC
详细信息 产品特性：可实现电子级特殊气体的持续不间断安全供应。主要采用PLC控制，触控屏为人机界面或数显按钮式操作界面。 主要特点：自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断。 适用场合：主要适用于IC、TFT、Solar、LED等工厂特气的供气需求。 适用气体：易燃/自燃性、腐蚀性、毒性，如SIH4,NF3,NH3,N2O,HCL等。 气源供应方式：Cylinder |