产品特性：可实现电子级气体的持续不间断安全供应；主要采用PLC控制，触控屏为人机界面或数显按钮式操作界面。
主要特点：自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断。
适用场合：主要适用于IC 、TFT 、Solar 、LED等工厂惰性气体的供气需求。
适用气体：惰性，如CF4,SF6,CHF3,Ar,He等。
气源供应方式：Cylinder
气体输送架GR
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气体输送架GR
详细信息 产品特性：可实现电子级气体的持续不间断安全供应；主要采用PLC控制，触控屏为人机界面或数显按钮式操作界面。 主要特点：自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断。 适用场合：主要适用于IC 、TFT 、Solar 、LED等工厂惰性气体的供气需求。 适用气体：惰性，如CF4,SF6,CHF3,Ar,He等。 气源供应方式：Cylinder
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